摘要:本發(fā)明涉及一種寬譜白光LED的量子點(diǎn)有源區(qū)結(jié)構(gòu)及其外延生長(zhǎng)方法,基于氮化鎵III/V族化合物半導(dǎo)體功率型發(fā)光二極管、應(yīng)用全固態(tài)照明光源的有源區(qū)內(nèi)含銦鎵氮-鎵氮或銦鎵氮-銦鎵氮量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)的白光功率型寬譜發(fā)光二極管LED材料的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積外延生長(zhǎng)方法和相關(guān)的有源區(qū)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
提供了幾種基于InGaN量子點(diǎn)有源區(qū)的新型器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并給出了外延條件的核心生長(zhǎng)參數(shù)如反應(yīng)源流量大小、V/III比、襯底溫度等。本發(fā)明能實(shí)現(xiàn)不含熒光轉(zhuǎn)換、高顯色指數(shù)、高亮度的GaN基白光LED照明需求。
同時(shí),本發(fā)明技術(shù)也適用于(CdSe)ZnS/ZnSe、(Zn,Cd)Se/ZnSe、(Zn,Cd,Hg)(Se,Te)/ZnSe、(Zn,Cd,Hg)(Se,Te)/ZnS等II/VI族化合物半導(dǎo)體內(nèi)含量子點(diǎn)的寬譜功率型發(fā)光二極管材料外延生長(zhǎng),其外延生長(zhǎng)的主要優(yōu)化方法與III/V族InGaN量子點(diǎn)外延生長(zhǎng)的相同。 |